中图仪器:三维表面粗糙度参数Sa的前世今生-国际金属加工网 - ca88亚洲城app

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国际金属加工网 2018年07月25日

传统的粗糙度评定为二维参数评定,评定的时候在一条线上进行评定,不能够完整地反映整个表面的全部信息,越来越不能满足加工行业的发展需要。表面形貌的三维评定方法是利用区域表面获得所需要的相关信息,给出表面形成机理信息和研究表面的直观图像,三维评定从整体上对零件表面特征进行描述,具有全局性。

三维表面粗糙度参数有很多,今天介绍第一个参数Sa。

定义

Sa为表面算术平均高度,指轮廓表面内的点与中心面距离的算术平均或几何平均值,在取样区域D上,被测量的轮廓面和建立的基准面之间的z坐标距离的算术平均,即表面粗糙度曲面方程z坐标绝对值的算术平均。数学表达式为

应用

Sa常用来描述精密加工表面粗糙度,可以有效地检测整个区域的高度特征以便控制加工工艺的制定。对不同的加工工艺方法,其值变化明显。

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晶圆表面粗糙度评定,数据由中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪测量得出

历史

2005 年,在ISO/TC213的最新标准草案ISO/TC213N756中对表面三维表征参数进行了详细分类,主要分为功能参数、幅度参数、空间参数、综合参数、体积参数共5大类23个参数,在幅度参数中就包括Sa。

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2012年4月1日,国际标准化组织正式颁布《ISO 25178-2-2012 产品几何量技术规范(GPS)--表面结构:区域--第2部分:术语、定义和表面结构参数》,对Sa进行了确认。

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(chotest)

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